‘We hebben een gemeenschappelijke belang’ onderstreept Fred Bijkerk, eveneens werkzaam bij FOM, de samenwerking. ‘Zowel vanuit het bedrijfsleven als vanuit de wetenschap komen vragen. De XUV Optics-onderzoeksgroep is gespecialiseerd in multilaagsspiegels voor het XUV golflengtegebied, die al snel gebruikt zullen worden voor de fabricage van chips. ‘Onze basisexpertise is die van de fysica van grenslagen en dunne films. Als wetenschappers willen we deze tot op atomaire schaal onderzoeken en onze kennis hierover verder ontwikkelen. Dat is het doel van de UT’, zegt Bijkerk. ‘We onderzoeken, leiden mensen op en produceren artikelen. Van buitenaf, vooral vanuit de industrie, is er veel belangstelling voor deze spiegels.
’
De tweede doelstelling is om spin-off te genereren, in de vorm van nieuwe toepassingen, en uiteindelijk zelfs banen bij de aangesloten industriële partners. De samenwerking moet leiden tot een snellere productontwikkeling. ‘Het kan in het algemeen geen kwaad om de interesse van buiten te polsen en je onderzoeksthema’s heel actief te koppelen aan die interesse.’ De groep werkt samen met ASML, Carl Zeiss, Demcon, PANalytical en SolMateS
Foto: Fred Bijkerk, bijzonder hoogleraar bij Mesa+
