Bij de productie van computerchips met EUV fotolithografie (etsen met extreem ultravioletlicht, EUV) is de bandbreedte van het licht van cruciaal belang. Onderzoeker Muharrem Bayraktar van de vakgroep XUV Optics maakt een compacte detector die kan meten welk licht de lichtbron afgeeft.
Die detector kan bovendien het licht met de juiste golflengte versterken, en ongewenst licht verwijderen. Ongewenst licht, van verkeerde golflengten, kan schadelijk zijn voor het productieproces. Detectoren die tot nu toe worden gebruikt kunnen volgens Bayraktar niet tegelijkertijd gewenst en ongewenst licht meten.
Productie efficiënter
Bayraktar en zijn collega’s denken dat de productie van computerchips hiermee een stuk efficiënter en daarmee goedkoper kan worden. Van NanoNextNL krijgen de UT-onderzoekers een ton subsidie om komend jaar een prototype van hun EUV-detector te bouwen.
De wetenschappers testten een eerste versie van hun draagbare detector al in de laboratoria van chipmachinefabrikant ASML.
