Het NWO-miljoen moet over diverse deelprojecten worden verdeeld. Zo krijgen MESA, DIMES en het Institute for Micro Sensors and Actuator Systems van de Universiteit van Bremen 250 duizend gulden voor hun project voor de ontwikkeling van roestvrij-stalen 'flow-sensoren' (apparaatjes waarmee de stroming van vloeistoffen kan worden gemeten). Zulke sensoren worden nu nog van silicium gemaakt, maar staal is een chemisch inerter en mechanisch veel robuuster materiaal. Volgens MESA-coördinator dr. M. Elwenspoek is voor dit project tevens één miljoen gulden STW-subsidie aangevraagd.
Eveneens 250 duizend gulden gaat naar het samenwerkingsproject dat MESA en DIMES met het ForschungsZentrum Informationstechnik in het Duitse Sankt Augustin hebben opgezet. Dit onderzoek moet een bijdrage leveren aan het vergroten van de beheersbaarheid van het fabrikageproces van de steeds complexer worden geïntegreerde circuits (IC's). Het project, wat betreft MESA geleid door dr.ir. H. Kerkhoff, heeft als educatief nevendoel studenten in aanraking te brengen met de nieuwste ontwerptechnologieën.
Een subsidie van twee ton is er verder voor een project dat MESA en DIMES met Vlaamse partners gaan doen: het Interuniversitair Micro-Electronisch Centrum (IMEC) in Leuven en het Instituut voor Materialen Onderzoek (IMO) van de Universiteit van Limburg in Diepenbeek bij Genk. Dit project is gericht op onderzoek naar de aantasting van de aluminiumverbindingen op IC's door verschijnselen als elektronenmigratie en mechanische spanningsmigratie. Volgens MESA-coördinator dr.ir. A. Mouthaan is het geld bestemd voor de tijdelijke aanstelling en uitwisseling van onderzoekers.
